2. 冲洗干净后，将进样蠕动泵管从去离子水中取出，排空进样系统中的去离子水。

　　4. 等离子体熄灭后，需要一段时间冷却（2min左右）至仪器回到待机状态，再依次关闭冷却循环水机和氩气阀门。

　　5. 拉下仪器左侧的主电源开关至off位置，等待一段时间后仪器会自动卸真空，关闭排风。

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